4. Termometry oporowe na nośnikach ceramicznych

Zakres temperatur, w jakich czujniki te mogą być stosowane: od 70°C do +500°C, a w przypadku typów specjalnych 196°C do +500°C.

Warstwa platyny konieczna do pomiaru temperatury nanoszona jest na czujnik jedną z następujących metod:

  • W technologii sitodruku,
  • W technologii osadzania z fazy gazowej
  • W technologii napylania

W przypadku wszystkich trzech powyższych technologii możliwe jest laserowe kształtowanie opornika.

W przypadku technologii pierwszej, możliwe jest także nadrukowanie opornika od razu.

W przypadku technologii cienkowarstwowych do kształtowania oporników stosuje się obecnie – podobnie jak w przypadku półprzewodników - fotolitografię i napylanie.

Precyzyjna obróbka jest zawsze wykonywana przy użyciu lasera. W tym przypadku, w produkcji wykorzystywane są tak zwane przewody skracane lub wyrównawcze o różnej długości (a co za tym idzie o różnej rezystancji) w formie meandrów, które aktywowane są w razie konieczności poprzez przerwanie głównego przewodu.

 

Rys.: Warstwowe oporniki pomiarowe

Rys. 5 Budowa czujnika oporowego osłonowego

Rys. 5 Budowa czujnika oporowego osłonowego

Powierzchnia meandrów pokryta jest stopionym szkłem.
Rezystory te są w normalnych warunkach odporne na wahania temperatury.
Hysteraza tych oporników ma podobny charakter jak w przypadku czujników szklanych. Rezystory warstwowe są niewielkich rozmiarów – liczą kilka milimetrów – i stanowią najtańszy typ spośród wszystkich termometrów oporowych, zapewniając jednocześnie dość dobrą dokładność pomiarową.

Powrót do góry