4. Termometry oporowe na nośnikach ceramicznych
Zakres temperatur, w jakich czujniki te mogą być stosowane: od 70°C do +500°C, a w przypadku typów specjalnych 196°C do +500°C.
Warstwa platyny konieczna do pomiaru temperatury nanoszona jest na czujnik jedną z następujących metod:
- W technologii sitodruku,
- W technologii osadzania z fazy gazowej
- W technologii napylania
W przypadku wszystkich trzech powyższych technologii możliwe jest laserowe kształtowanie opornika.
W przypadku technologii pierwszej, możliwe jest także nadrukowanie opornika od razu.
W przypadku technologii cienkowarstwowych do kształtowania oporników stosuje się obecnie – podobnie jak w przypadku półprzewodników - fotolitografię i napylanie.
Precyzyjna obróbka jest zawsze wykonywana przy użyciu lasera. W tym przypadku, w produkcji wykorzystywane są tak zwane przewody skracane lub wyrównawcze o różnej długości (a co za tym idzie o różnej rezystancji) w formie meandrów, które aktywowane są w razie konieczności poprzez przerwanie głównego przewodu.
Rys.: Warstwowe oporniki pomiarowe
Rys. 5 Budowa czujnika oporowego osłonowego
Powierzchnia meandrów pokryta jest stopionym szkłem.
Rezystory te są w normalnych warunkach odporne na wahania temperatury.
Hysteraza tych oporników ma podobny charakter jak w przypadku czujników szklanych. Rezystory warstwowe są niewielkich rozmiarów – liczą kilka milimetrów – i stanowią najtańszy typ spośród wszystkich termometrów oporowych, zapewniając jednocześnie dość dobrą dokładność pomiarową.